集成电路工艺

晶圆厚度/薄膜厚度/应力测量

全自动膜厚测试仪

产品型号：NanoSpec II
制造原厂：Onto Innovation Inc.（原Nanometrics Inc.）

NanoSpec II扩展了业界公认的NanoSpec系列的范围和性能，引入了一种新型设计，具有自动化样品对准，快速自动对焦和测量重复性优于1Å。

NanoSpec II结合Nanometrics功能强大的重新设计的光谱反射率分析软件NanoDiffract^®，自动图案对准的图像处理和各种光学配置选项，使NanoSpec II实现了同类中强大的薄膜测试系统的自动化。

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