晶圆级半自动薄膜厚度量测分析仪(TIM-10/30TFV-MSXG)是一款高性能的薄膜检测系统，专门设计用以精确测量薄膜之厚度舆折射率。
此系统使用花岗岩平台加强机械结构以确保量测的稳定性和精准度，搭配显微镜可针对有圆案化的晶圆进行快速、精确且高重复性的多薄膜厚度舆折射率测量。
波长范围:：400-1000nm (或选配950-1700nm or 1440-1690nm)
光源:：卤素灯
厚度测量范围： 10nm-30μm or 100nm-200μm or 500nm-350μm
精度：＜2nm or 0.2%, ＜4nm or 0.5%, ＜5nm or 0.5%
稳定性： 0.1nm, 0.2nm, 1nm
光斑大小:：标准30μm(20X物镜)(最小可达10μm)
样品尺寸： 300mm或以下
