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FilmTek™2000 SE结合了光谱椭偏法和DUV多角度偏振反射法，可同时测量薄膜厚度，折射率和消光系数。旋转补偿器设计可在整个范围内实现精度测量高效且简单。数以千计的波长同时采集，集成的自动对焦功能消除了类似椭圆仪所需的手动样品对准的繁琐任务。
