光谱反射椭偏仪

  • 产品型号:FilmTek™ 2000SE
  • 制造原厂:Scientific Computing International

FilmTek™2000 SE台式测量系统为无图案薄至厚膜应用提供无与伦比的测量性能,多功能性和速度。它非常适合学术和研发环境。

技术规格
薄膜厚度范围:0到150μm
薄膜厚度准确度:NIST可追踪标准氧化物100Å到1μm的±1.0Å
光谱范围:240nm至1700nm(标准为240nm至1000nm)
测量点大小:3毫米
样本量:2mm至300mm(150mm标准)
光谱分辨率:0.3-2nm
光源:受控氘卤素灯(寿命2,000小时)
检测器类型:2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列(NIR)
自动对焦自动舞台300mm(标准200mm)
电脑:带有Windows™7操作系统的多核处理器
测量时间:〜2秒(例如氧化膜)