FilmTek™2000 SE台式测量系统为无图案薄至厚膜应用提供无与伦比的测量性能,多功能性和速度。它非常适合学术和研发环境。
技术规格 | |
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薄膜厚度范围: | 0到150μm |
薄膜厚度准确度: | NIST可追踪标准氧化物100Å到1μm的±1.0Å |
光谱范围: | 240nm至1700nm(标准为240nm至1000nm) |
测量点大小: | 3毫米 |
样本量: | 2mm至300mm(150mm标准) |
光谱分辨率: | 0.3-2nm |
光源: | 受控氘卤素灯(寿命2,000小时) |
检测器类型: | 2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列(NIR) |
自动对焦自动舞台 | 300mm(标准200mm) |
电脑: | 带有Windows™7操作系统的多核处理器 |
测量时间: | 〜2秒(例如氧化膜) |