FilmTek™2000测试系统专为快速，可靠，准确地表征几乎所有未图案化的薄膜而设计。FilmTek™2000是一款完全集成的系统，结合了DUV-NIR光纤分光光度计，自动测试台和先进的材料模型软件，使得即使是最严格的测量任务也能既可靠又直观。
| 技术规格 | |
|---|---|
| 薄膜厚度范围： | 5nm至350μm（标准为5nm至150μm） |
| 薄膜厚度准确度： | NIST可溯源标准氧化物1000Å至1μm为±1.5Å |
| CD精度（1σ）： | <0.2％ |
| 光谱范围： | 380nm至1700nm（380nm至1000nm是标准） |
| 测量点大小： | 2μm（5×10μm标准，10倍物镜） |
| 样本量： | 2mm至300mm（标准为150mm） |
| 光谱分辨率： | 0.3-2nm |
| 光源： | 稳定的卤素灯（寿命2,000小时） |
| 检测器类型： | 2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列（NIR） |
| 电脑： | 带有Windows™7操作系统的多核处理器 |
| 测量时间： | 每个部位<1秒（例如氧化膜） |
