四点探针面电阻值测试系统由5601TSR面电阻测试仪、 QT-50手动测试控制台所组成。本系统利用四点探针原理测量出面电阻值/电阻系数；测量材质为ITO膜等材料。
测量尺寸可为晶圆或方形尺寸；不用计算即可直接测量出面电阻值数值Ω/□。系统体积小，重量轻，容易操作，具防静电功能。可选配QT-60大尺寸手动测试控制台, QT-70自动探针测试台或ST-610A掌上型探头进行测量。
功能特性：
5601TSR面电阻测试仪
最大显示：150K(表面电阻Ω/□) /33K(一般电阻Ω)
显示：六位数, 7段LED(14.2mm)显示
过载指示：“00000” 闪烁
量程选择：自动和手动
QT-50手动测试控制台
手动机台压杆臂压下定位功能，助于检测
针头压力：外部加法码改变压力50g~500g
量测尺寸：直径150mm，(6inch晶圆)
重量：7kg
