化合物半导体
芯片制程及封装应用
薄膜厚度及电阻率

数位薄膜电阻计

  • 产品型号：5601TSR / QT-50
  • 制造原厂：QUATEK

四点探针面电阻值测试系统由5601TSR面电阻测试仪、 QT-50手动测试控制台所组成。本系统利用四点探针原理测量出面电阻值/电阻系数；测量材质为晶圆或ITO膜等材料。 

测量尺寸可为晶圆或方形尺寸；不用计算即可直接测量出面电阻值数值Ω/□。系统体积小，重量轻，容易操作，具防静电功能。可选配QT-60大尺寸手动测试控制台, QT-70自动探针测试台或ST-610A掌上型探头进行测量。

功能特性：

5601TSR面电阻测试仪

  • 最大显示：150000(表面电阻Ω/□) /33000(一般电阻Ω)

  • 采样率：4 samples/sec

  • 显示：六位数, 7段LED(14.2mm)显示 

  • 过载指示：“00000” 闪烁 

  • 量程选择：自动和手动

  • 过载保护：AC 330Vrms 

  • 工作电压：AC90V~264V, 50/60Hz<15VA 

  • 操作温度：0~50℃, RH≦80%

  • 通讯接口：RS232, RS485

  • 波特率：1200/2400/4800/9600/19200/38400/57600/115200

  • 尺寸：208mm(长) x 91mm(高) x 280mm(宽)

QT-50手动测试控制台

  • 手动机台压杆臂压下定位功能，助于检测 

  • 针头压力：外部加法码改变压力50g~500g 

  • 尺寸：300(长) x 250(宽) x 200(高)mm 

  • 量测尺寸：直径150mm，(6inch晶圆) 

  • 重量：7kg

应用:

  • 太阳能光电材料 

  • 导电高分子材料 

  • 透明导电薄膜材料 

  • ITO膜 

  • 奈米材料 

  • 小分子有机发光材料 

  • 高分子有机发光材料 

  • 生物芯片涂布材料

可提供各式探针台供选择:

QT-60 手动测试台

  • 晶圆尺寸：8”~12” (300mm) 

  • 方形尺寸：300mm x 300mm 

  • 尺寸：250(长) x 320(宽) x 170(高)mm

ST-610A 掌上型探头

  • 手持式，按下握把即可测量 

  • 针头高低间距，轻松测量 

  • 尺寸：107mm(高)， 直径：52mm 

  • 重量：290g

QT-SW 标准电阻 Simulate wafer

  • 范围：200m Ohm to 5K Ohm 

  • 可依客户需求订做任一阻值 

  • 精度：1% 

  • 标准片直径：76mm 

  • 可由校正单位出据校正报告供追溯

5601TSR / QT-50
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