化合物半导体
芯片制程及封装应用
薄膜厚度及电阻率

光谱反射仪

  • 产品型号：FilmTek 1000
  • 制造原厂：Scientific Computing International

FilmTek™1000系列是用于常规测量薄膜厚度和折射率的精确且经济实惠的解决方案。它将光纤分光光度计与直观的高性能材料建模软件相结合，使日常测量任务可靠简单。

FilmTek™1000M配置具有小的光斑尺寸，并配备手动或可选自动XY工作台，以适应75-300mm晶圆尺寸。

FilmTek™1500可测量正常入射时的透射率和反射率，是透明基材的理想选择。

可同时测定：

  • 多层厚度
  • 折射率[n（λ）]
  • 消光（吸收）系数[k（λ）]

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