整套测量系统由测量主机RT-70V和不用应用的平台组成
通过旋钮调整输入样品厚度
主机带自测试及自动切换测量档位功能
可根据实际测量应用从下列平台中选择
(1) RG-7C: 自动测量,探头上下移动
(2) RG-7S: 测量大尺寸样品,手动移动探头位置,探头自动上下移动
(3) TS-7D: 手持式测量探头
样品尺寸:
基于所选择的平台而定
圆形样品支持300mm(12 inch),或方形尺寸730x920mm
测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm