无接触晶圆方阻测量系统

  • 产品型号:NC-80MAP
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-80MAP是由日本Napson公司推出的半自动非接触式电阻率测量设备。它可以通过电脑进行控制,设定硅片尺寸和测试点数量,运用涡电流方法进行无接触测量,可以通过软件输出2D/3D Mapping图,更高效的完成测量任务。

特点

  • 宽范围和高精度测试能力;

  • 标配2inch到8inch的测试能力;

  • 软件提供数据表功能,可以提供SPC统计,有最大,最小,平均值和标准方差值;

  • 精密简约的设计

规格

  • 标配电阻率测试范围: 0.01 ~ 3200 ohm/sq

  • 可选高阻测试范围: 0.01 ~10k ohm/sq 或100k ohm/sq

  • 探头直径:14mm

  • 测试点数: 最高999点