小型变温变磁场霍尔效应测试系统,配备变温和变磁场以及手动探针模块,变温范围达到-196度到+600度,变温平台22mm直径,配备观察窗可观测样品情况并可以额外配备外置光学照射.电磁场范围0.4T/1.5T可调(与距离有关),可以受系统软件控制进行变温变磁场联合测试.
系统功能 测量半导体的电阻率、载流子浓度、迁移率以及它们的变温曲线、霍尔系数、电阻等
系统配置 霍尔效应测试主机，变温平台以及温控器和液氮罐
被测样品尺寸范围 标准10mm*10mm
变温样品台尺寸 最大25mm*25mm
变温范围 -196°C 到 600°C
温度稳定度 0.01°C
磁场强度 0.4T
磁场稳定性 ±5%
磁头直径 40mm,有效作用区域,10mm
霍尔电压范围 10uV-10V
霍尔电压解析度 1uV,典型值500nV
电流范围 1nA-10mA
最大电流解析度 25pA
电阻测试范围 1m ohm-10M ohm(典型值)
电阻率范围(1um厚度) 1e-5 到 1e7 ohm-cm(典型值)
载流子浓度 1e5 到 1e20 cm-3
