10秒低漏电流
-漏电流<5fA/V 从-65℃ 至 75℃
-漏电流<10fA/V 从75℃ 至 100℃
-漏电流<50fA/V 从100℃ 至 150℃
-漏电流<300fA/V 从150℃ 至 200℃
在4.5" 1x3 VersaPlate上可使用高达3张探针卡
在200m VersAdjust 上可使用高达9张探针卡
在300m VersAdjust上可使用高达17张探针卡
标准操作范围-60°C ~300°C
每卡最多32个探针
可设计最小的间隔尺寸
标准的X-Y精度为10%的pad尺寸
标准Z精度+ /- 5微米
尺寸:28mm x28mm,直径19mm为陶瓷材料
