静电盘吸附电源

Trek型号为646的软件驱动的静电吸盘电源供应器具有显著的优势和功能，可满足各种苛刻要求的应用场合。从已记录的用户使用情况可看出，用户使用我们设备的效率可达到使用其他电源的三倍。此外，646基本解决了粘性晶圆和晶圆爆裂问题，从而确保更好地控制颗粒污染。

特点
联锁：提供连接以支持联锁安全配置。如果联锁打开，高压产生的电路会被关闭
钳位晶圆检测功能（阈值由程序设置）： 
为了指示晶圆钳位事件，由低电压正弦波产生的电容电流，在相位a和阶段B输出上叠加，可被监控，但也可以通过程序禁用。叠加波形用于指示无晶圆，有晶圆存在或晶圆夹紧状态

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