PG2101半自动探针台是针对LED Flip Chip元件所设计的 生产线专用点测设备，可以进行下收光及上收光的测试。
该探针台极为适合2"至6”晶圆测试应用。 PG2101高速半 自动探针台也可由客户针对不同应用设定点测速度。
PG2101也可根据客户之不同应用选配各类客制化的chuck 盘。
X/Y轴
架构: 高精度循环式滚珠螺杆
行程: 210mm x 265mm
解析度: 0.5 um
精度: ≦±7 um
重复性:±4 um
Z轴
架构:步进马达驱动-线性轴承
行程:-0.5 ~ 7.5 mm
解析度:1 um
精度:±≦ 2um
重复性:±≦4 um
承重:10KG
Theta轴
可调角度:±10度
解析度:0.001度
Chuck盘
材质: 石英玻璃
真空开孔:500um孔径 (可订制)
平整度: 10um
选配
支持4个独立探针座
2个打墨器
探针卡承接座
CCD Telecentric Lens 0.5X
搭配积分球特殊结构设计并可选配各类显微镜
