落地一体式设计，遮光罩避免背景光干 扰，按键搭配摇杆操作方便
支援 Windows 系统，中文软体介面，即时 mapping 图显示
提供 CCD 扫描功能，实现晶圆扩张后在蓝 膜上的晶粒定位
灵敏的 Edge sensor 设计，极小的针痕并延 长探针寿命
分离式探头设计方便更换探针
支持探针卡之相关应用
提供即时或延迟打墨功能
高精密马达驱动，提供稳定安静的运行环境
提供 TTL、RS232 通讯方式，可搭配各种测试机
另有 Double-side 结构，适合功率半导体双面元件应用
X/Y轴
架构:高精度循环式滚珠螺杆
行程: 210mmx210mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重复性:±4 um
Z轴
架构:步进马达驱动-线性轴承
行程: 11.5 mm
解析度:1 um
精度:≤ ±2um
重复性:≤ ±4 um
承重:20KG
Theta轴:
可调角度:10度
解析度:0.001度
Chuck盘:
材质:高强度铝合金(表面镀金)
真空开孔:200um孔径(可特别订制)
平整度:15um
显微镜:
目镜:20x
物镜:1x-4.5x
放大倍率: 20x-90x
