通用型手动探针台
特点:
外观紧凑,重量轻巧,高性价比
可选配不同探针、样品测试平台等选件,符合不同器件测试应用
适用于4”以下晶圆测量
适合于科研/研发器件特性分析
应用:
LED晶圆及芯片之光电特性分析
LD/PD等光电器件特性分析
分立器件/MEMS等半导体器件特性分析
其他复合功能材料/陶瓷材料/半导体材料特性分析
技术规格:
• 4”铝合金镀镍载盘
• 2”/3”/4”三真空孔可切换
• X-Y轴移动范围:4”X4”(10μm解析度)
• Z轴上下调整距离: 10mm
• Theta轴可调(选配)
• 最多支持4个磁吸式探针座
• 尺寸:370mmWx370mmDx450mmH(含显微镜)
• 重量:20kg(含显微镜)
• 显微镜技术规格
目镜可调倍率:20
物镜放大倍率:0.67 ~ 4.5
最小可视面积:2.7mm直径
LED照明光源
• 使用条件:电源:AC 100~240V(50/60Hz)
真空:-250mmHg,7公升/分钟
附件:
• 磁吸式探针座2个
• 铍铜针10根
选配件:
• 镀金载盘
• 高压探针/高压载盘
• 微电流探针/电容探针
• 待测物夹具
• 探针卡支架/探针卡
• 变温载盘(室温至200°C)
• 防震桌
• 遮光罩
• 真空泵