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NC-3000R是由日本Napson公司推出的全自动非接触式硅片分选仪。它运用机械手的传输方式，通过量测硅片的电阻率，PN型及厚度，为硅片进行分档归类，便于客户的产品规格分类，可以支持多种尺寸的半导体硅片。
测量精度高，覆盖大尺寸硅片
利用机械手进行硅片传输
非接触式测量电阻率，厚度及P/N极性
运用紧凑型设计双平台来满足测量和传输区域
Cassette数量可根据客户需求设计
选件:硅片平整度测量（FLA-200)
样品尺寸：
支持6~8寸，或12寸
测量范围：
电阻率 0.6m ~ 450Ω・cm
厚度 200 ~ 1200μm
