非接触式硅片分选系统(传送带方式)

  • 产品型号:NC-6800
  • 制造原厂:Napson Corp.

NC-6800是由日本Napson公司推出的全自动非接触式硅片分选仪。它运用皮带式的行进方式,可以通过量测硅片的电阻率,PN型及厚度,为硅片进行分档归类,便于客户的产品规格分类,可以支持多种尺寸的半导体硅片。


  • 非接触式测量电阻率,厚度及P/N极性

  • Cassette数量可按客户需求设计

  • 涡电流方式测量电阻率,电容法测量硅片厚度

  • 具备温度补偿功能    


样品尺寸:

3 ~ 8 寸


测量范围:

电阻率 0.6m ~ 450Ω・cm

厚度 200 ~ 1200μm