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NC-6800是由日本Napson公司推出的全自动非接触式硅片分选仪。它运用皮带式的行进方式,可以通过量测硅片的电阻率,PN型及厚度,为硅片进行分档归类,便于客户的产品规格分类,可以支持多种尺寸的半导体硅片。
非接触式测量电阻率,厚度及P/N极性
Cassette数量可按客户需求设计
涡电流方式测量电阻率,电容法测量硅片厚度
具备温度补偿功能
样品尺寸:
3 ~ 8 寸
测量范围:
电阻率 0.6m ~ 450Ω・cm
厚度 200 ~ 1200μm