薄膜量测分析仪 (TIM-10/30TFV)是一套简易探头式光谱量测系统，整合光源与光谱仪于一体，只需透过USB连接即可完成设置。利用光谱仪测得样品的反射干涉光谱讯号以分析出透明膜或半透明膜的膜厚及光学参数，再透过量测与分析软体 ，将i-Spec专业薄膜技术融入简单而直观的系统中，使操作人员只需要几分钟学习即可使用仪器。模组化的整合系统可快速获取准确的量测结果；自行开发的软体更可根据客户需求客制设计和规划In-line 光谱与膜厚量测系统，适合应用于产线检测。
波长范围:：400-1000nm (或选配950-1700nm)
光源:：卤素灯
厚度测量范围： 20nm~20μm or 100nm~200μm
精度：＜2nm or 0.2%, ＜4nm or 0.5%
稳定性： 0.1nm, 0.2nm
样品尺寸： 200mm或以下
