晶圆级半自动薄膜测量分析仪（TIM-10TFV-SR）系列是一款高性能的膜厚检测仪器，专门设计用于精确测量薄膜和涂层的厚度。该仪器在半导体、光学、表面工程及材料科学等领域有着广泛的应用。通过电控 R-Theta 移动平台，它能够快速高效地测量并建立薄膜厚度分布；用户可以便捷地选择极坐标、矩形或线性等多种布点模式，并可直接使用内置的多种布点设置。搭配集成控制、测量和分析功能的 i-Spec 软件，将专业薄膜技术与简洁直观的操作界面相结合。此系统设置简便，通过 USB 连接即可在几分钟内完成，使得操作人员仅需短暂培训即可轻松上手，不仅提升了工作效率，也简化操作过程，使 TIM-10TFV-SR 成为市场上最具使用便利性和技术先进性的薄膜厚度测量工具之一。
波长范围:：400-1000nm (或选配950~1700nm or 1440~1690nm)
光源:：卤素灯
厚度测量范围： 10nm~30μm or 100nm~200μm or 500nm~350μm
精度：＜2nm or 0.2%, ＜4nm or 0.5%, ＜5nm or 0.5%
稳定性： 0.1nm, 0.2nm, 1nm
样品尺寸：300mm或以下
