PG3000半自动探针台是针对LED, MEMS, MOSFET, Diode等半导体组件，及GaAs太阳能晶圆生产线专用点测设备，该探针台极为适合2"至300mm晶圆或partial wafer 测试应用。PG3000高速半自动探针台也可由客户针对不同 应用设定点测速度。PG3000也可根据客户之不同应用选配 各类探针卡或客制化的chuck盘
X/Y轴:
架构:高精度循环式滚珠螺杆
行程: 300mmx300mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重复性:±4 um
Z轴 架构:步进马达驱动-线性轴承
行程:11.5 mm
分辨率:1 um
精度:±≦2um
重复性:±≦4 um
承重:10KG
测试平台:
材质:高强度铝合金 (表面镀金/阳极处理)
真空开孔:200um孔径 (可特别订做)
平整度:15um
CCD探头
1024X768 pixels
扫描区域:
12.8 mil~ 128 mil
