Pegasus A200D 系列在一个紧凑且易于使用的全自动探测平台中, 可同时对多达8英寸的晶圆进行双面探测。
Pegasus A200D 采用专有的晶圆环夹紧夹头, 可从两个载盒中抓取晶圆, 每个载盒包含25个晶圆片。
Pegasus A200D 具有高度先进的上、下探头臂卡尺, 可通过多个针探卡控制同时接触晶圆的顶部和底部。
pegasus A200D 系列探头通过专有的 labmastertm 控制和监控软件提供菜单驱动或按钮控制。
可支援最大8英寸的晶圆进行双面探测
功能强大、方便使用的控制和监视软件
探针的高度控制及预设针载
影响定位识别系统
机械手取片系统
可提供5KV以上的高电压测试, 适用于特殊应用
