德测所开发的PG101-RF为一款手动高频探针台, 专为实验室研究分析所设计, 标准150mm尺寸平台可搭载不同应用之高频探
针并支援各式量测仪器。量测平台亦可选配高温配置最高温度可达200℃
多项弹性加装配件, 让您的量测更加方便。
特点
· 标准尺寸为150mm, 亦可多种尺寸客制化
· 可选200mm尺寸平台(PG102-RF)
· 操作简易, 定位快速
· 任意测试仪器搭配
· 量测平台可设计多真空细孔或同心圆环孔
· 平台可选配最高200度C加热平台
· 独立高绝缘频蔽设计
· 漏电流<10fA
· 可选配落地型屏蔽暗箱
· 可选配高频校正片
技术规格
· 6”铝合金镀镍载盘
· 2”/4”/6”三真空孔可切换(或同时开启)
· X-Y轴移动范围：6”X6”(10μm解析度)
· Z轴上下调整距离: 10mm
· Theta轴可调(选配)
· 最多支援4个磁吸式探针座
· 探针：依照不同应用GGB, APT任意型号配合(GSG, GS, SG)
· 射频40GHz~67GHz; 2端口~4端口
· 尺寸：420mmWx420mmDx500mmH(含显微镜)
· 重量：30kg(含显微镜)
· 显微镜技术规格
目镜可调倍率：20X
物镜放大倍率：0.67 ~ 4.5X
最小可视面积：2.7mm直径
360度LED环形照明光源
· 使用条件
电源：AC 100~240V(50/60Hz)
真空：-250mmHg，7公升/分钟
