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Model 212大面积光刻机是一款性价比高、性能优良的台式光刻机，它只需要占用极小的洁净室空间，为大尺寸晶圆、LCD、薄膜晶体管、FPD和OLED的研发提供了一种经济型选择。
衬底尺寸
最大12” or 300mm
衬底平台
X, Y行程
±10mm
Z 行程
5mm
千分尺
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