pegasus A200 系列晶圆探针台通过专有的 labmaster™控制和监控软件提供菜单驱动的按钮控制。广泛的控制和监测参数使用户能够以优秀的性能操作 pegasus A200 系列晶圆探振泰 包括: 实时监控和测试设置,高级mapping能力,图像分析,和许多其他高级功能。
pegasus A200 系列晶圆探针台实现两端平行处理晶圆定位和晶圆取片, 以实现较大的效能。pegasus A200 专为在手动装载和卸载晶圆时易于访问而设计, 可容纳两个载盒, 每个载盒包含25个晶圆片。pegasus A200 晶圆探针台具有高度先进的单片晶圆检测预对准和传输系统, 可确保长期的精度和可重复性
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适用于各种晶圆材料 (如 GaAs,蓝膜盘,陶瓷) 的各种处理能力
功能强大、方便使用的控制和监视软件
模式识别系统
机械手结构处
可配置为超过5千伏的高电压, 适用于特殊应用
可选的温度载片盘 功能表驱动, 按钮控制。
实时监控和测试设定。
所测试的晶圆和批次的良率分析 高级mapping功能。
探针直接对位蓝膜上的芯片