Wentworth M200FA手动分析晶圆探测器可提供高达200mm(8英寸)的晶圆,可提供经济高效的探针台,用于故障分析,器件表征和在线工艺验证。 其紧凑的设计和广泛的功能集非常适合各种应用,包括:小型几何探测; 使用高功率光学的应用; 设计调试; 晶圆级可靠性(WLR)和静电放电(ESD)。
直流参数
频率: d c > 100mhz
击穿电压: 500v
泄漏: +//10fA -65°C > + 200°C +/20fA + 200°C > + 400°C
高功率配置
电压: 3kv (三轴), 10kv (同轴)
电流: 200 A (脉冲)
漏电: < 1pA(3kv)
变温载片台:-65c 至 + 400c