Wentworth’s PegasusTM S200FA-HV探针台非常适合测试功率器件, 并且可以很容易地与各种测试仪器集成。Wentworth’s PegasusTM S200FA-HV 平台提供了一种灵活的晶圆自动测试解决方案, 专注于大功率半导体特性. Wentworth’s PegasusTM S200FA-HV 高功率配置以低接触方式解决了当今的功率半导体测试挑战电阻测量需要在高电压下进行精确测量。 高电流探头和探针卡 (高达 100A) 处理和分配过大的电流负载。专用的HV & HC 探头可减少高电压电流下的探头和设备破坏, 以防止设备在尖端产生打火现象。
直流和脉冲的大电流探针。
开尔文式测量 (源和载片台)。
低电阻背面接触 (德莱德克)
可处理薄片晶圆
低漏电/高压
高电流/高压测量下的安全性
电压: 3kv (三˙轴), 10kv (同轴)电流: 200 A (脉冲)
漏电: < 1A(3kv) 高电压-温度开尔文式载片台规格
温度稳定性±0,1°C
温度精度±0,5°C
绝缘性 > 0.5 托姆@ + 25°C
电容: 1600pf (标准) 200 f F(三轴)
最大电压: 10kv @ 载片台
漏电: < 1A (3kv) 高压探针漏电与温度关系
+ 25°C < 200Pa
+ 200°C < 200Pa
