Pegasus™s200 晶圆探针台专为广泛的半导体 (包括半导体、发光二极管 (led) 和微机电系统 (mems) 器件) 的生产探测而设计。它也被强烈推荐用于表征应用, 并设计用于处理 2 "至200mm 的全晶片和部分晶片。pegasu™s200 为特定应用提供可调节的快速探测。探头可以使用悬臂式探头卡或使用 pegash™探头集成晶圆边缘/高度传感器进行。pegasus ™探针是一种完全可调的手动探针座, 内置高度检测、边缘感应、快速更换探针和可调节的压力设定。此外, 各种标准和定制的载盘可用于各种应用。
探针移动速度可达 100mm/秒
TTL、乙太网 (10baset)、RS232 和 IEEE 488通讯模式
轻松集成CCD和其他外部测试设备元件
使用 天马™远端命令的远端控制
使用 天马™探头进行有源芯片分析
半自动两点晶圆对齐, 减少设置时间 双面探针模式可支付200mm 晶圆
独特的探针臂和探针头设计和悬臂式探针卡
可调节晶圆尺寸载片台
探针压力可调及和速度可调
