Wentworth Pegasus™FA系列晶圆探针台为多功能性和易操作性设定了最高标准。Pegasus™S300FA半自动晶圆探针台是许多应用的理想平台,它使用多种提高生产率的附件,并适应升级以满足未来的探测要求,是一种非常通用的探针平台,专为故障分析应用,器件表征,直流,低泄漏,高压,射频/微波,芯片,小批量12寸晶圆测试而设计
Pegasus™S300FA支持300mm的全部和部分晶圆
支持各种悬臂探针卡
自动和手动方式的探针座
可编程和手动显微镜安装座
用于切割和打标的激光器
变温载台及各种其他配件
带有操纵杆和LCD监视器显示屏的Pegasus™控制台具有简单的菜单,使用户可以轻松操作
可选的LabMaster™软件让用户能够设计复杂的测试程序
LabMaster™与领先的测试仪无缝连接,同时与所有探针台系统附件进行通信
由Wentworth独有的校准工艺,精密滚珠丝杠和步进电机可在宽温度范围内提供可重复的精度
频率 :dc > 100Mhz
击穿电压 :500V
漏电 :+/-10fA -65°C > +200°C +/-20fA +200°C > +400°C
探针台
精密滚珠丝杠和步进电机
旅行 310mx400mm
分辨率 0312 微米
重复 ±4.0 微米
精度 ±5.0 微米
平整度 8μm
最大速度 100mm/sec
z 平台
精密滚珠丝杠和步进电机
行程 11毫米
分辨率0.156 微米
重复 ±1.0μm
theta
行程 ±8.0°
分辨率 0.0001°
可编程显微镜
步进电机
行程 50毫米 x50 毫米 x100 毫米
分辨率 0.15 微米
重复 ±1.0μm
精度 ±2.5μm
探针平台
驱动类型 步进电机
z 平台 18毫米
材料 镀镍钢镀钢
图形用户界面
WINDOWS7、8.1 和10
通信接口
PC TTL RS232,GPIB (IEEE488.2)以太网
厂务
供电 100-240 VAC 50/60 hz 选择600VA
真空 0.5 cfm @ 20 "hg (分钟)
压缩空气 4帕/分钟
外形尺寸
探针台(不包括光学) 880x875x610mm
控制器 450x480x180mm
屏蔽
光屏蔽 > 120 分贝
电磁屏蔽 > 20 分贝 0.5-0.5 ghz, 30 d0.5-3ghz
重量
探针台 131公斤