Wentworth Pegasus™FA系列晶圆探针台为多功能性和易操作性设定了最高标准。Pegasus™S200FA半自动晶圆探针台是许多应用的理想平台,它使用多种提高生产率的附件,并适应升级以满足未来的探测要求,是一种非常通用的探针平台,专为故障分析应用,器件表征,直流,低泄漏,高压,射频/微波,芯片,小批量8寸晶圆测试而设计
Pegasus™S200FA支援200mm的全部和部分晶圆
温度范围为-60°C至300°C
支援各种悬臂探针卡
自动和手动方式的探针座
可程序设计和手动显微镜安装座
用于切割和打标的激光器
变温载台及各种其他配件 带有操纵杆和LCD监视器显示屏的Pegasus™主控台具有简单的功能表,使使用者可以轻松操作
可选的实验室™软件让使用者能够设计复杂的测试程序
实验室™与领先的测试仪无缝连接,同时与所有探针台系统附件进行通信 由Wentworth独有的校准工艺,精密滚珠丝杠和步进电机可在宽温度范围内提供可重复的精度
频率 :dc > 100Mhz
击穿电压 :500V
闪电: +/-10fa-65°c > + 200°c +/20fa + 200°c > + 400°c