为针对 DIODE、MOSFET、IGBT, TVS 等产业元件的晶圆测试。
PEGASUS PG2000D 是一台双面四线探针结构的探针台,此结构可消除探针平台上的阻抗问题,
使其对测试结果的影响降到最低,可让被测元件更接近于工程设计之要求。
落地一体式设计，体积轻巧
支援 Windows 系统，中文软体介面，即时mapping 图显示
按键搭配摇杆的简易操作,轻松实现所有测试要求
高精密马达驱动,提供安静且稳定的运行环境
模组化电控机构,易于维修
双面探针结构,改善测试回路阻抗,测试电流可达 30A
可点测 3”到 8”晶片
可因客户需求提供客制化的设计
提供 TTL、RS232 通讯方式，可搭配各种测试机
优越的点测速度及极佳的探针针痕
X/Y轴:
架构:高精度循环式滚珠螺杆
行程: 210mmx210mm
解析度:0.5 um
精度:≤ ±7 um
重复性:±4 um
显微镜:
目镜:20x
物镜:1x-4.5x
放大倍率: 20x-90x
测试平台:
材质:高绝缘人造石头版
夹片尺寸:3”/4”/5”/6”/8”
旋转角度:±10.0 度
解析度:0.001 度
