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这个紧凑的系统是为最大200mm的晶圆片的高通量宏观检测而设计的。以毫秒为单位, nSpec®
Macro能根据视场或晶圆尺寸自动检测和量化50至100微米的缺陷。
nSpec® Macro允许照亮整个晶圆，可编程控制照明角度或照明强度。亮场、暗场、正交和可配置的斜向照明角度与单独可修改的led配对，调整亮度、颜色和照明位置。
