美国Nanotronics公司,推出全新的nSPEC系统,依托高品质半导体工业专用显微镜,配备精密移动样品台与物镜系统的硬件平台,在此基础上,开发了内置AI算法的图像识别软件,可以快速比对识别数百甚至数千张晶圆表面的图像,在数分钟或数十分钟内即可得到所需要的各种缺陷图像,并进行自动分类和识别,形成报表,工程师可以直观的看到所检测得到的缺陷在晶圆的位置,大小,形状等信息.
特点
•高品质工业级显微镜系统
•高精度自动样品台
•高智能图像分析软件
•完美的软硬件结合
•配合不同镜头可实现多区域多缺陷测试
•可测试各种凹坑,突起以及平面缺陷
•可导出全部数据和图像
配置
•nSpec 晶圆表面缺陷扫描系统,主机
•5x 和10x镜头,标准配置
•可选 50/75/100/150/200 真空样品台
•可选20x镜头,50x镜头和100x镜头
