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搭載光譜分析軟體,可同時測量多層膜的膜厚(通常為3層),以及測量光學定數(n,k)通過設定高感度高分解偵測頭,可測量厚度至70um,同時配合使用100倍接物鏡(可觀察至點半徑0.75um)
晶圓尺寸:3-8 inch
測量波長範圍: 380-850nm
厚度測量範圍: 100Å-70um
重複性: 0.1%或者2Å