半導體
集成電路工藝
矽片分選

非接触式晶圆分选系统（传送带方式）

  • 產品型號：NC-6800
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 非接觸式測量電阻率，厚度及P/N極性

  • Cassette數量可按客戶需求設計

  • 渦電流方式測量電阻率，電容法測量矽片厚度

  • 具備溫度補償功能
           


  • 樣品尺寸：
    3 ~ 8 寸

  • 測量範圍：
    [R] 1m ~ 200Ω・cm
    [Thickness] 150 ~ 800μm (150 到 800μm 之間, 300um推薦)

  • 該測量範圍由低，中，高，超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
           


NAP-NC-6800
返回列表