半導體
集成電路工藝
矽片分選

非接触矽片分选系统（机械手传送）

  • 產品型號：NC-3000R
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 測量精度高，覆蓋大尺寸矽片

  • 非接觸式測量電阻率，厚度及P/N極性

  • 緊湊型設計，具備測量和傳送兩個平臺

  • Cassette數量可根據客戶需求設計

  • 選件:矽片平整度測量（FLA-200)
           


  • 樣品尺寸：
    支持6~8寸，或12寸

  • 測量範圍：
    電阻率 1m ~ 200Ω・cm
    厚度 150 ~ 800μm (300μm 至 150～800μm)

  • 該測量範圍由低，中，高，超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
           


NAP-NC-3000R
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