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電阻率,厚度,P/N極性及溫度測量分選
具備自我測試功能,測量範圍廣
針對矽片電阻率測量,具有厚度/測量點位元及溫度補償功能
Cassette數量可根據客戶要求設計
CIM通信功能,相容SMIF或FOUP
樣品尺寸:3 ~ 8寸 (或 12寸)
測量範圍:[R] 100μ~1M Ω・cm[RS] 1m~10M Ω/sq