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4個不同規格探頭自動切換
[無需根據樣品特性不同而手動更換探頭]
離邊1mm測量能力
高速測量實現高性價比
相容FOUP,具備GEM/SECS通信
樣品尺寸:~300mm(可選具備200mm)
測量範圍:[RS] 1m~10M Ω/sq