全自動四探針面電阻測量系統

  • 產品型號:WS-3000
  • 制造原廠:Napson Corp.
  • 4個不同規格探頭自動切換

  • [無需根據樣品特性不同而手動更換探頭]

  • 離邊1mm測量能力

  • 高速測量實現高性價比

  • 相容FOUP,具備GEM/SECS通信

  • 樣品尺寸:
    ~300mm(可選具備200mm)

  • 測量範圍:
    [RS] 1m~10M Ω/sq