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測量點位元圖形可任意程式設計
測量範圍廣,帶自我測試功能
針對矽晶圓測量,具有厚度/邊緣效應/溫度補償功能
可通過面電阻換算膜厚
樣品尺寸:支持最大8寸,或156x156mm
測量範圍:[R] 1m~300k Ω・cm[RS] 5m~10M Ω/sq