半導體
集成電路工藝
電阻率/PN性/少子壽命

非接觸式面電阻測試儀

  • 產品型號：EC-80
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 緊湊型設計，操作方便

  • 將晶圓放置於探頭下面即自動開始測量

  • 通過JOG旋鈕快速設定測量條件

  • 5個不同測量範圍的型號可供選擇
           


  • 樣品尺寸：
    支持最大8寸，或156x156mm

  • 測量範圍：
    [R] 1m ~ 200 Ω・cm
    [RS] 10m~3000 Ω/sq

  • 該測量範圍由低，中，高，超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
           


NAP-EC-80
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