半導體
集成電路工藝
電阻率/PN性/少子壽命

非接觸式電阻值/電阻率測量儀

  • 產品型號：NC-10
  • 制造原廠：Napson Corp.

  • 電腦控制實在簡便的操作及資料處理

  • 通過渦電流測量方式實現非破壞性測量

  • 根據測量範圍不同可更換5種不同探頭

  • 單點中心位置測量

  • 矽晶圓測量溫度補償
           


  • 樣品尺寸：
    支持3~8寸，或156x156mm
    (另有2寸，12寸，210x210mm平臺可選配）

  • 測量範圍：
    [R] 1m ~ 200 Ω・cm
    [RS] 10m~3000 Ω/sq

  • 該測量範圍由低，中，高，超高阻值的不同測量探頭來覆蓋
           


NAP-NC-10
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