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探頭接觸樣品即自動開始測量
3種測量模式為晶圓電阻率,體電阻率,面電阻率
通過JOG旋鈕快速設定測量條件
5種測量範圍探頭可根據樣品電阻率進行更換
樣品尺寸:可測量任意尺寸和形狀的樣品(*大於20mm直徑及測量表面需要平整)
測量範圍:[R] 1m ~ 200 Ω・cm[RS] 10m~3000 Ω/sq
該測量範圍由低,中,高,超高阻值及適合太陽能矽片的不同測量探頭來覆蓋