光致發光快速圖譜儀(功率密度控制型)

  • 產品型號:VerteX
  • 制造原廠:Nanometrics Inc.

采用Active density control技术的PL mapping设备,在普通PL mapping系统的基础上,增加了激发功率控制功能,可实现高达1000级的强度控制

  • 資料以R,θ方式收集、存儲,並以X,Y坐標軸方式顯示

  • 資料和圖像可輸出至其它形式的套裝軟體

  • 顯示比例與顏色可由使用者設定或系統預設

  • 全光譜掃描,並對峰值波長、峰值強度、半高寬、積分強度同步收集和顯示

  • 可以對晶片上任意一點進行單點光譜顯示和存儲

  • 每秒可以收集180個點的全光譜或2000個點的強度圖譜

  • 使用者自訂資料篩選功能

  • 統計資料以數位或柱狀圖顯示

  • 可分析合金成分

  • 可以對系統參數和測量參數自動分段

  • 選擇附加功能選項可完成薄膜厚度,布拉格反射體和VCSEL的特性量測