400S型允许将HBM或MM ESD应力切换到各种形状DUT,然后通过非常少的编程自动检测损坏或退化。甚至设计师都可以随时测试新设计的ESD性能。
从晶圆到封装的ESD性能测试
通过定期晶圆测试进行过程监控
允许芯片位置和ESD性能之间的相关性测试
多次返回允许ESD电流路径验证
实现新设备的快速ESD性能测试
减少设备开发时间
1.来源测试单元/伤害标准
极性:正,负
强制电压
范围:0至30V
数字:3
最小阶段:10mV
表格:4个表格(Vf-A至Vf-D)
当前测量
范围:0到200mA
数位:3
分辨率:10nA(*)
平均值:1,2,4,8,16,32次
启动范围:1,10,100,1000μA
限制器:2,20,200mA
采样点:1到91个采样
测量速度:快/慢
伤害检测点:1至10点
损坏标准:初始电流*(1至100)%+(100nA至1mA)
2. ESD脉冲
极性:正和负
时间:大约1秒
重复次数:1至100次
消除电荷:支持
Zap电压
HBM:0至400V / 5V步进
400至4000V / 50V步进
MM:0至400V / 5V步进
400至4000V / 50V步进
准确度:设定值的±1%±5V
波形:MIL,JEDEC,JEITA等
3.测试程序
半自动测试
自动测试
V / I曲线测量
ESD zapping