ESD/CDM晶圆等级抗静电能力测试系统

  • 产品型号:Model 400S Series
  • 制造原厂:Tokyo Electronics Trading Co. Ltd.

400S型允许将HBM或MM ESD应力切换到各种形状DUT,然后通过非常少的编程自动检测损坏或退化。甚至设计师都可以随时测试新设计的ESD性能。

  • 从晶圆到封装的ESD性能测试

  • 通过定期晶圆测试进行过程监控

  • 允许芯片位置和ESD性能之间的相关性测试

  • 多次返回允许ESD电流路径验证

  • 实现新设备的快速ESD性能测试

  • 减少设备开发时间


1.来源测试单元/伤害标准

极性:正,负

强制电压

范围:0至30V

数字:3

最小阶段:10mV

表格:4个表格(Vf-A至Vf-D)

当前测量

范围:0到200mA

数位:3

分辨率:10nA(*)

平均值:1,2,4,8,16,32次

启动范围:1,10,100,1000μA

限制器:2,20,200mA

采样点:1到91个采样

测量速度:快/慢

伤害检测点:1至10点

损坏标准:初始电流*(1至100)%+(100nA至1mA)

2. ESD脉冲

极性:正和负

时间:大约1秒

重复次数:1至100次

消除电荷:支持

Zap电压

HBM:0至400V / 5V步进

400至4000V / 50V步进

MM:0至400V / 5V步进

400至4000V / 50V步进

准确度:设定值的±1%±5V

波形:MIL,JEDEC,JEITA等

3.测试程序

半自动测试

自动测试

V / I曲线测量

ESD zapping