FilmTek™Solar是一款精确且经济的薄膜厚度测量系统，专为纹理基材设计。与竞争的椭偏仪设计不同，FilmTek™Solar不需要特殊的台阶倾斜或样品对准。通过将小的测量光点尺寸与大的收集角度相结合，可以获得无粗糙和纹理基底的极佳信噪比，无需样品对准。
| FilmTek™太阳能技术规格 | |||
|---|---|---|---|
| 薄膜厚度范围： | 3nm的-150μm的 | ||
| 薄膜厚度准确度： | ± 2 埃为NIST可追踪标准氧化物1000 埃到1微米 | ||
| 光谱范围： | 波长为240nm-950nm | ||
| 测量点大小： | 1毫米 | ||
| 样本量： | 2mm至156mm标准 | ||
| 光谱分辨率： | 为0.3nm | ||
| 光源： | 受控氘卤素灯（寿命2,000小时） | ||
| 检测器类型： | 2048像素索尼线性CCD阵列 | ||
| 600纳米（1 秒）的反射静态重复性： | 0.01％ | ||
| 测量时间： | 每个部位<1秒（如氧化膜） | ||
| 数据采集时间： | 0.2秒 | ||
| 电脑： | 带有Windows™7操作系统的多核处理器 | ||
| FilmTek™积分球技术规格 | |||
|---|---|---|---|
| 薄膜厚度范围： | 为10nm-50um | ||
| 薄膜厚度准确度： | ± 2 埃为NIST可追踪标准氧化物1000 Å到1nm | ||
| 光谱范围： | 在380nm-950nm | ||
| 测量点大小： | 10.3毫米 | ||
| 样本量： | 15mm至300mm标准 | ||
| 光谱分辨率： | 为0.3nm | ||
| 光源： | 规定的卤钨灯（900小时寿命） | ||
| 检测器类型： | 2048像素索尼线性CCD阵列 | ||
| 600纳米（1 秒）的反射静态重复性： | 0.01％ | ||
| 测量时间： | 每个部位<1秒（如氧化膜） | ||
| 数据采集时间： | 0.2秒 | ||
| 电脑： | 带有Windows™7操作系统的多核处理器 | ||
| 性能规格 | |||
|---|---|---|---|
| 电影（S） | 厚度 | 测量参数 | 精度（1σ） |
| 氧化物/硅 | 100-10,000Å | t | 0.5Å |
| 氮化物/硅 | 100-10,000Å | t | 0.5Å |
