DUV-NIR 光谱反射仪
FilmTek™2000测试系统专为快速，可靠，准确地表征几乎所有未图案化的薄膜而设计。FilmTek™2000是一款完全集成的系统，结合了DUV-NIR光纤分光光度计，自动测试台和先进的材料模型软件，使得即使是最严格的测量任务也能既可靠又直观。
FilmTek™软件包含完全用户自定义的晶圆多点测试功能，可快速生成任何测量参数的2D和3D数据图。除用户定义的模式外，标准模式还包括极坐标，X-Y，rθ或线性。
FilmTek™2000将SCI的广义材料模型与先进的全局优化算法结合在一起，可在每个测试点于1秒内同时测定多个薄膜参数。
测试能力
同时测定：
低成本
FilmTek™2000的拥有成本仅为可比的自动化台式计量系统的一小部分。
直观的，完全自动化的系统
与DUV-NIR光纤分光光度计，自动测试台，计算机和高级材料模型软件完全集成的系统。 FilmTek™2000软件可自动进行测量校准，数据采集和分析，因此不需要操作者具备薄膜光学设计或测量技术的经验。
技术规格:
膜厚范围: 5nm-150um
膜厚精度:±1.5Å(基于NIST追溯氧化物薄膜,100nm到1um厚度)
波长范围:190nm-1700nm(标准配置240nm-1000nm)
测试点尺寸:2mm-5mm(标准配置5mm)
样品尺寸:2mm-300mm (标准配置150mm测试台)
光谱分辨率:0.3-2nm
光源:氘卤素灯（寿命2,000小时）
探测器类型: 2048像素CCD阵列/512像素 InGaAs阵列(NIR)
测试时间:小于1s/点(氧化物薄膜典型值)
数据获取时间:0.2s
DUV-NIR 光谱反射仪
