技术规格
薄膜厚度范围：	5nm至350μm（标准为5nm至150μm）
薄膜厚度准确度：	NIST可溯源标准氧化物1000Å至1μm为±1.5Å
CD精度（1σ）：	<0.2％
光谱范围：	380nm至1700nm（380nm至1000nm是标准）
测量点大小：	2μm（5×10μm标准，10倍物镜）
样本量：	2mm至600mm（标准为150mm）
光谱分辨率：	0.3-2nm
光源：	稳定的卤素灯（寿命2,000小时）
检测器类型：	2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列（NIR）
电脑：	带有Windows™7操作系统的多核处理器
测量时间：	每个部位<1秒（例如氧化膜）