Film Wizard™Professional是可提供给薄膜工程师/科学家的功能较为强大,且较多的一款软件,用户友好的软件包。它将优化和综合设计功能与强大的分析工具相结合,用于解释分光亮度和椭偏数据,对薄膜层进行建模,并执行回归以确定沉积层的实际厚度和指数。
Film Wizard™为用户提供了无与伦比的选择,共可以定义14种不同的材料类型以用于设计。Film Wizard™包含一个大型的NK文件库,用于用户可以编辑和扩展的更广泛使用的材料。材料类型也可以由公式定义,可以是用户定义的,也可以是下列之一:
Sellmeier
Cauchy
Cauchy Exponential
Temperature Dependent Cauchy
Drude
Lorentz Oscillator
Drude+Lorentz Oscillator
EMA
Graded
Rugate
Super-Lattice
User Defined
用户只需指定适当的系数,程序就会计算出正确的指数。除上述材料类型外,Film WizardTM还提供了一种EMA材料模型,该模型被定义为多达5种不同材料的均匀混合物。EMA材料模型在建模合金,表面粗糙度,金属陶瓷和多晶硅等多晶材料时非常有用。分级材料(层)模型类似于EMA模型,因为它是两种材料的混合物; 然而,在分级材料中,混合比可以在层内的不同深度处指定。整个梯度层的混合比假设为用户指定“节点”处混合比的线性插值。可允许100个节点。Rugate模型允许用户指定具有正弦折射率分布的图层。Film WizardTM还支持温度相关材料。可以指定折射率的温度依赖性和热膨胀。