集成电路工艺

电阻率/PN性/少子寿命

扩散电阻浓度测试仪

产品型号：SRS-2010
制造原厂：Napson Corp.

SRS-2010是由日本Napson公司推出的扩展电阻量测设备。

可测量深度方向的电阻率分布，外延层厚度，PN结深度，载流子浓度剖面图

样品尺寸：
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测量范围：
1~10E+9 Ω[扩展电阻]
载流子浓度范围:
2E+13 ~ 5E+19 cm2 [N型]
2E+14 ~ 7E+19 cm2 [P型]

NAP-SRS-2010