Trek Model 640静电吸盘电源供应器具有显著的优势和功能，可满足各种苛刻要求的应用场合。从已记录的用户使用情况可看出，用户使用我们设备的效率可达到使用其他电源的三倍。此外，640基本解决了粘性晶圆和晶圆爆裂问题，从而确保更好地控制颗粒污染。
鉴于640型的多功能性和以及优异性能，一台设备满足多种独特的工具/工艺流程。因此无需再为不同工艺中搭配不同应用场合的电源。
典型应用包括
l 材料的静电驱动处理
l 半导体晶圆加工
l 非机械转移的平板或其他加工材料的机械切割
特点和优点
l 使自定义波形的创建变得简单而强大, 从而生成用户可以预见的最复杂的波形
l 该产品的软件通过任意数据输入、预编程波形或 companyspecific CSV 文件接受参数
l 实用程序通过三个单独编程的阶段增强, 以建立波形: (1) 钳位信号阶段, (2) 处理信号阶段 (可配上选件实现 "循环" 周期), 和 (3) 脱钳阶段
l 测试数据以数字和图形格式记录并呈现在彩色显示屏上
l 图表还可用于诊断 ESC 操作中的机械和电气问题
l 每台设备提供NIST可溯源校准证书
l CE标准
Model 640 规格参数
输出
输出相位
相位A输出电压范围：0 to ±2 kV DC or peak AC (4 kV p-p)
相位A输出电流范围：0 to ±5 mA DC or peak AC (10 mA p-p)
相位B输出电压范围：0 to ±2 kV DC or peak AC (4 kV p-p)
相位B输出电流范围：0 to ±5 mA DC or peak AC (10 mA p-p)
放大参数（每相）
大信号带宽 (1% distortion)：DC to greater than 1.2 kHz
小信号带宽 (-3 dB)：DC to greater than 5 kHz
转换速率：优于 15 V/µs
稳定时间：少于 300 µs（ 0 ~ 2 kV 上升梯度)
直流精度：优于满量程的 0.1%
偏置电压：少于500 mV
输出噪声：少于 100 mV rms*
随时间偏移度：少于 100 ppm/hour, noncumulative
随温度偏移度：少于 350 ppm/°C
输出电压监控 (端口在背后板)
随时间偏移：少于 350 ppm/°C
特点
钳位检测特性（阈值由程序设定）：
为了确认夹紧晶片, 在相位 a 和 B 相位输出中, 由低压正弦波产生的电容电流被监视, 但可以通过该程序进行禁用。叠加波形用于表示无晶片、硅片存在或晶片夹紧状态
