激光光谱椭偏仪

  • 产品型号:Qphoton-L
  • 制造原厂:QUATEK

Qphoton-L为客户提供精确且经济的薄膜膜厚测量系统,针对太阳能绒面测试需求做了更贴合 的设计与算法,可对纳米薄膜厚度、折射率n及消光系数k进行快速、高精度、高准确度的测量,尤其 适合于工业产品和科研环境中的量产检测,新品研发,可用于表征单层纳米薄膜、多层纳米层膜厚。 应用领域涉及纳米薄膜的几乎所有领域,如微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄 膜、生命科学、电化学、磁介质存储、聚合物及金属表面处理等,可同时测定:

·多层薄膜厚度 

·折射率n

·消光(吸收)系数k


薄膜厚度范围:

1~2000nm

薄膜厚度精度:

SiO2-100nm 标样膜厚精度0.5nm;重复性±0.2nm;折射率精度:0.005;重复性:±0.002

Si/Si3N4/Al2O3 样品膜厚精度0.5nm;重复性±0.2nm;折射率精度:0.005;重复性:±0.002

激光波长:

635nm (其他波长可选)

光斑尺寸:

2~4mm(option:100/200um)

入射角范围:

45°~90°(手动5°步进)

载物台:

兼容 220 mm * 220mm 及以下尺寸样品

输出:

Qview软件简明显示测试结果并可上报客户系统

测量速度:

1~3秒/点

电脑:

配备Windows 10操作系统的多核处理器

尺寸:

长670*深390*高370mm

重量:

22Kg