Qphoton-L为客户提供精确且经济的薄膜膜厚测量系统，针对太阳能绒面测试需求做了更贴合 的设计与算法，可对纳米薄膜厚度、折射率n及消光系数k进行快速、高精度、高准确度的测量，尤其 适合于工业产品和科研环境中的量产检测，新品研发，可用于表征单层纳米薄膜、多层纳米层膜厚。 应用领域涉及纳米薄膜的几乎所有领域，如微电子、半导体、集成电路、显示技术、太阳电池、光学薄 膜、生命科学、电化学、磁介质存储、聚合物及金属表面处理等，可同时测定:
·多层薄膜厚度
·折射率n
·消光(吸收)系数k
薄膜厚度范围:
1~2000nm
薄膜厚度精度:
SiO2-100nm 标样膜厚精度0.5nm;重复性±0.2nm;折射率精度:0.005;重复性:±0.002
Si/Si3N4/Al2O3 样品膜厚精度0.5nm;重复性±0.2nm;折射率精度:0.005;重复性:±0.002
激光波长:
635nm (其他波长可选)
光斑尺寸:
2~4mm(option:100/200um)
入射角范围:
45°~90°(手动5°步进)
载物台:
兼容 220 mm * 220mm 及以下尺寸样品
输出:
Qview软件简明显示测试结果并可上报客户系统
测量速度:
1~3秒/点
电脑:
配备Windows 10操作系统的多核处理器
尺寸:
长670*深390*高370mm
重量:
22Kg
